具备丰富的高温型CVD设备研发经验，熟悉电阻加热、感应加热等热场设计和高温下材料体系设计，或者熟悉反应腔设计工作，或熟悉化合物半导体SiC/GaN/GaAs外延工艺，能够通过外延工艺对设备提出创新性的技术方案。